Место Атсыза занял его сын Иль Арслан. Ликвидировав всех родственников способных соперничать с ним на трон, стал правителем Хорезма. После смерти Султан Сенджера (1157 г) стал свободным правителем государства. Но так и не смог избавиться от дани Карахытаям.
Для избавления от этой проблемы, обратился за помощью к иракским Сельджукам но не справился. Тем временем Карахытаи вновь начали поход по поводу дани.
Все усилия Хорезма остановить их войска при помощи разрушения дамб, не спасли их арьергард от разгрома. Тем временем Иль Арслан заболел и умер 19 марта 1172 года.